AES测试表面谱图点扫；深度刻蚀;Mapping;线扫

样品在超高真空下必须稳定，无腐蚀性，无磁性，无挥发性等； 固态样品：片状、块状或粉末。 另外在样品的保存和传送过程中应尽量避免样品表面被污染。在任何时候， 对被分析样品的表面都应尽量少地接触和处理。

建议：样品用干净玻璃瓶盛装或铝箔纸包装。