扫描电子显微镜（SEM）是利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器，随着科学技术水平的提高，其放大倍数 可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。

扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，例如：

(1)观察纳米材料的形貌，对纳米材料的组成进行成分分析；

(2)使用扫描电镜，能够对断裂机理进行分析归类，明确断裂的类型，并且对裂纹源位置和扩展方向作出判定，明确金属材料的主要断裂机理；

(3)生物试样观察电子照射面发生试样的损伤和污染程度很小，对观察某些生物试样来说意义重要；

(4)对样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，可以利用扫描电镜观察相变、断烈等动态的变化过程。