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共1条
基于在线原子力显微镜(AFM)的检测
原子力显微镜(AFM)探头可以用于特定的光刻工作,并可以收回来检测所做的工作,但这种做法会降低探头的探针尖端,从而影响测量质量。
2025-01-23 11:36:40
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